半導体研磨用板状アルミナ粉末

製造されるアルミナ研磨粉の結晶形状は六角形の平板状であるため、板状アルミナまたは板状アルミナと呼ばれます。

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板状焼成アルミナ研磨粉は、高品質の工業用アルミナ粉末を原料とし、特殊な製造工程で加工したものです。製造されたアルミナ研磨粉の結晶形状は板状のような六角形の平たい形状をしており、板状アルミナまたは板状アルミナと呼ばれています。

半導体シリコンウェーハなどの半導体材料の場合、板状酸化アルミニウムを適用すると、研削時間が短縮され、研削効率が大幅に向上し、研削機の損失が低減し、労力と研削コストが節約され、研削合格率が向上します。

化学組成

化学薬品 保証値 標準値
Al2O3 ≥99.0% 99.36%
SiO2 <0.2% 0.017%
Fe2O3 <0.1% 0.03%
Na2O <0.6% 0.35%

 

物理的特性

材料 α-Al2O3
比重 ≧3.9g/cm3
モース硬度 9.0
タイプ D3(うーん) D50(1本) D94(前後)
CA45 50.5-56.2 33-38.5 20.7-24.5
CA40 39-44.6 27.7-31.7 18-20
CA35 35.4-39.8 23.8-27.2 15-17
CA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
CA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
CA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
CA15 14.8-17.2 9.4-11 5.8-6.8
CA12 11.8-13.8 7.6-8.8 4.5-5.3
CA09 8.9-10.5 5.9-6.9 3.3-3.9
CA05 6.6-7.8 4.3-5.1 2.55-3.05
CA03 4.8-5.6 2.8-3.4 1.5-2.1

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